世界最先进EUV光刻机开工！Intel已产3万块晶圆 14A工艺就用它

快科技2月26日消息，ASMLTwinscanEXE:5000EUV是当今世界上最先进的EUV极紫外光刻机，支持High-NA也就是高孔径，Intel去年抢先拿下了第一台，目前已经在俄勒冈州FabD1晶圆厂安装部署了两台，正在紧张地研究测试中。

Intel资深首席工程师SteveCarson透露，迄今为止，两台EUV光刻机已经生产了3万块晶圆，当然不算很多，但别忘了这只是测试和研究使用的，并非商用量产，足以证明Intel对于新光刻机是多么的重视。

SteveCarson还强调，完成同样的工作，新款光刻机可以将曝光次数从3次减少到只需1次，处理步骤也从40多个减少到不足10个，从而大大节省时间和成本。

Intel曾透露，新光刻机的可靠性是上代的大约两倍，但没有透露具体数据。

ASMLEXE:5000光刻机单次曝光的分辨率可以做到8nm，比前代Low-NA光刻机的13.5nm提升了多达40％，晶体管密度也提高了2.9倍。

当然，Low-AN光刻机也能做到8nm的分辨率，但需要两次曝光，无论时间、成本还是良品率都不够划算。

全速率量产的情况下，ASMLEXE:5000光刻机每小时可生产400-500块晶圆，而现在只有200块，效率提升100-150％之多。

Intel将会使用High-NAEUV光刻机生产14A也就是1.4nm级工艺产品，但具体时间和产品未定，有可能在2026年左右量产，或许用于未来的NovaLake、RazerLake。

将在今年下半年量产的Intel18A1.8nm工艺，仍旧使用现有的Low-NAEUV光刻机，对应产品包括代号PantherLake的下代酷睿、代号ClearwaterForest的下代至强。

二者都已经全功能正常运行，并开展了客户测试。